东芯股份公布国际专利申请:“NAND闪存设备中减少空间的编程方法、装置、存储器及系统”
证券之星消息,根据企查查数据显示东芯股份(688110)公布了一项国际专利申请,专利名为“NAND闪存设备中减少空间的编程方法、装置、存储器及系统”,专利申请号为PCT/CN2023/134247,国际公布日为2024年7月4日。
专利详情如下:
图片来源:世界知识产权组织(WIPO)
今年以来东芯股份已公布的国际专利申请4个。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.82亿元,同比增65.17%。
数据来源:企查查
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东芯股份申请NAND闪存单元及其制备方法专利,提高NAND闪存单元的制备效率
金融界2024年3月4日消息,据国家知识产权局公告,东芯半导体股份有限公司申请一项名为“NAND闪存单元及NAND闪存单元的制备方法“,公开号CN117641922A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明涉及NAND闪存单元及其制备方法。该NAND闪存单元(10)具备:半导体衬底(1);在半导体衬底(1)的表面上形成的浅槽隔离区域(2);在半导体衬底(1)的表面上与浅槽隔离区域(2)平行地形成的有源区域(3);在半导体衬底(1)的表面上与浅槽隔离区域(2)垂直地形成的凹陷沟道(4);在凹陷沟道(4)内,在与有源区域(3)重叠的部分形成的穿隧氧化层(5);在穿隧氧化层(5)上形成的浮栅极(6);在半导体衬底(1)的表面上,在凹陷沟道(4)内以覆盖浮栅极(6)的方式形成的封闭氧化层(7);以及在封闭氧化层(7)上形成的控制栅极(8),在半导体衬底(1)中的沿着凹陷沟道(4)的方向的截面上,凹陷沟道(4)为W形。
本文源自金融界
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