nand 探针卡探针卡到底是个啥玩意？三分钟讲明白！

发布时间 : 2025-03-18

作者 : 小编

访问数量 : 23

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探针卡到底是个啥玩意？三分钟讲明白！

探针台，大家都知道。它是一种用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备，探针（卡）就是其中的一部分，主要用于CP test （晶圆测试或者探针测试Circuit Probing、Chip Probing，不是你想的那个CPDD的CP[我想静静]……）。

CP测试在芯片行业中的位置

CP测试非常重要，可以进行前期筛片，避免不合格的Die被封装成产品卖出去。

那么什么是探针卡呢？

先介绍一下什么是探针台吧。

万用表大家都知道吧？就是初中物理实验测量电压电流的小仪器。探针台本质上就和万用表差不多，也是用来测试电路用的 。只不过，探针台要贵很多，万用表几十块就能买，但是探针台嘛，打底也得几十万，贵的千万、上亿也不是不可能。

初中物理实验室的万用表

但是芯片的尺寸实在是太小了，测试的时候，你总不可能拿着万用表往芯片上面去戳吧？即使是针头的万用表笔尖，一下子戳过去，芯片估计被你给戳穿了。

探针台

所以有个大聪明把显微镜和万用表结合在一起（再加上精密位移平台、气泵等），于是就有了探针台，主要用于微小尺寸集成电路的测试。探针台主要由六个基本组件组成：

晶圆卡盘：一种用于固定晶圆或芯片而不损坏它的装置。载物台：用于将卡盘固定，并在 X、Y、Z 和角度上精密移动。气泵：用于维持探针台的水平稳定。机械手：用于将探头定位在被测设备上。探针（卡）：安装在机械手臂上，用于接触测试。显微镜：用于查看和放大被测设备和探头尖端。

探针台上的探针“扎”针

探针台就可以简单的理解为万用表的表笔，用于“扎”在芯片的特定节点上进行电性能测试。

CP测试示意图

那么什么是探针卡呢？

探针卡=探针+电子元件+线材+PCB 。是一种集成化的测试接口，主要是对没有封装的裸芯片（Die）进行测试（原因很简单，如果封装好了，就可以焊接在电路上进行测了啊）。

探针卡

探针卡可以很简单（只有一个探针），也可以很复杂，有数百甚至数千个探针，以满足集成电路或同时多点CP测试的要求。

CP测试的探针卡属于定制器件 ，每一款产品都需要供应商根据芯片设计公司提供的输入信息进行定制化设计，不具备通用性，所以其出货量不大。

探针卡分类

探针卡的分类比较多，主要有MEMS 探针卡、悬臂式探针卡、垂直式探针卡三大类。

探针卡是CP测试的核心耗材，MEMS 探针卡已逐渐成为主流探针卡是半导体晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，被认为是测试设备的“金手指”（直接戳在芯片上的“金”手指，探针头真的是金的哟）。

市场行情

前两年受疫情影响，QYResearch调研显示，2021年全球探针卡市场规模大约为158亿元（人民币），预计2028年将达到247亿元，2022-2028期间年复合增长率（CAGR）为6.5%。中国的主要本土后起之秀企业有强一半导体、泽丰半导体等。

2020-2022年全球探针卡市场规模（美元）

后记

探针卡是CP测试的关键，通过对晶圆上的芯片进行CP测试（电性能测试，其实就是电性能测试。但是你看我全文都说是CP测试，是不是显得很专业呢。给大家一个建议，多学学这种黑话，真的会显得自己很专业的），可以筛除其中有缺陷的芯片，然后再去做封装。这样不仅可以减少芯片封装成本，也能保证芯片的质量。

长鑫存储申请测试电路、探针卡、测试系统及测试方法专利，可以有效提升测试的准确度

金融界2024年3月15日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“测试电路、探针卡、测试系统及测试方法“，公开号CN117706144A，申请日期为2022年9月。

专利摘要显示，本公开提供了一种测试电路、探针卡、测试系统及测试方法，涉及半导体技术领域，上述测试电路包括第一端口、第二端口、N个第一开关、N个第二开关及N个探测端；每个第一开关的第一端与第一端口连接，第二端与每个第一开关对应的所述探测端连接；每个第二开关的第一端与第二端口连接，第二端与每个第二开关对应的所述探测端连接；第一端口与第二端口用于和外部的测试机台连接，每个探测端用于和外部的待测器件连接。本公开在利用第一端口向各个探测端提供测试电压时，可以利用第二端口准确的测量出各个探测端的电压值，进而通过补偿测试机台与待测器件之间的导线以及开关产生的压降，可以有效提升测试的准确度。

本文源自金融界

探针卡到底是个啥玩意？三分钟讲明白！

先介绍一下什么是探针台吧。

那么什么是探针卡呢？

市场行情

后记

长鑫存储申请测试电路、探针卡、测试系统及测试方法专利，可以有效提升测试的准确度

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