长江存储128层TLC闪存拆解:存储密度高达848Gbmm²,远超三星等
去年4月,国产存储芯片厂商长江存储(YMTC)宣布其128层3D NAND 闪存研发成功。包括拥有业界最高单位面积存储密度,最高I/O传输速度和最高单颗NAND 闪存芯片容量的1.33Tb 128层QLC 3D NAND闪存,以及512Gb 128层TLC闪存。
近日,国外权威研究机构Tech Insights对长江存储的128层TLC 3D闪存进行了芯片级的拆解,发现其存储密度达到了目前业界最高的8.48 Gb/mm²,远高于三星、美光、SK海力士等一线NAND芯片大厂。
据介绍,Tech Insights拆解的是Asgard(阿斯加特)的PCIe4.0 NVMe1.4 AN4 1TB SSD,其内部采用的正是长江存储的128层TLC 3D NAND 闪存芯片,这也意味着长江存储128层TLC 3D NAND 闪存芯片已量产。该SSD硬盘的PCB上总共四颗256GB NAND闪存,单个封装内是4颗芯片,也就是说单颗芯片容量为512Gb。该NAND闪存的型号为YMN09TC1B1HC6C(日期代码:2021 9W)。
△长江存储512 Gb 128层3D TLC NAND 芯片的外观,型号为YMN09TC1B1HC6C
根据长江存储此前公布的数据显示,在传统3D NAND架构中,外围电路约占芯片面积的20~30%,这也使得芯片的存储密度大幅降低。而随着3D NAND技术堆叠到128层甚至更高,外围电路所占据的芯片面积或将达到50%以上。而Xtacking技术则是将外围电路置于存储单元之上,从而实现比传统3D NAND更高的存储密度。
所以,长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC芯片同样也是采用了两个晶圆来集成3D NAND,因此拆解后可以找到两个die,一个用于NAND阵列的die,另一个用于CMOS外围电路的die。
△长江存储512 Gb 128层Xtacking 2.0 3D TLC NAND die标记 ( CDT1B)
△长江存储512 Gb 128层Xtacking 2.0 3D TLC NAND芯片COMS外围的die标记(CDT1A 或 CDT1B)
作为对比,上一代的64层 Xtacking 1.0架构的TLC NAND die标记为(Y01-08 BCT1B) 和 CMOS外围电路die 标记为(Y01A08 BCT1B)。
根据Tech Insights的实测,长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC的die尺寸为60.42mm²,这也意味着其单位密度增加到了8.48 Gb/mm2, 比 256Gb 64层的Xtacking 1.0 die 高出了92% 。读取速度达到了7500 MB/s,写入速度也高达5500 MB/s。
△长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC NAND的die平面图
CMOS外围电路die则集成了页缓冲器、列解码器、电荷泵、全局数据通路和电压发生器/选择器。
△长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC NAND芯片的CMOS外围电路die平面图
Tech Insights称,长江存储128层Xtacking 2.0单元体系结构由两个通过层接口缓冲层连接的层组成,这与KIOXIA 112L BiCS 3D NAND结构的过程相同。单元大小、CSL间距和9孔VC布局与以前的64L Xtacking 1.0单元保持相同的设计和尺寸(水平/垂直方向间距)。门的总数为141(141T),包括用于TLC操作的选择器等。
△垂直方向的长江存储3D NAND单元结构,以及注释为32L(T-CAT带39T)、64L(Xtacking 1.0带73T)和128L(Xtacking 2.0带141T)的门的总数。
Tech Insights表示,长江存储128层Xtacking 2.0上层有72个钨闸门,下层有69个闸门。包括BEOL Al、NAND die和外围逻辑管芯在内的金属层总数为10,这意味着与64L Xtacking 1.0工艺集成相比,外围逻辑管芯中增加了两个铜金属层。通道VC孔高度增加一倍,为8.49µm。
△长江存储三代3D NAND的比较:Gen1(32L)、Gen2(64L,Xtacking 1.0)和Gen3(128L,Xtacking 2.0)。
与三星 (V-NAND)、美光 (CTF CuA) 和 SK海力士(4D PUC) 的现有128层512 Gb 3D TLC NAND 芯片的die尺寸相比,长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC NAND芯片的die尺寸更小,单位密度最高。
长江存储128层TLC NAND die平面布置图和两层阵列结构与美光和SK海力士相同,但长江存储的每个字符串的选择器和虚拟WL数为13,小于美光和SK 海力士(两者均为147T)。由于长江存储所采用的Xtacking混合键合方法,使得其使用的金属层数量远高于其他产品。
△128层512 Gb 3D TLC NAND产品的比较,包括刚刚发布的YMTC 128L Xtacking 2.0 3D NAND。
从上面的对比数据来看,长江存储512Gb 128层Xtacking 2.0 TLC NAND芯片的单位存储密度达到了8.48b/mm²,远高于三星的6.91Gb/mm²、美光的7.76Gb/mm2、SK海力士的8.13Gb/mm²,达到了目前业界最高单位存储密度。
目前长江存储Xtacking 2.0架构的512Gb 128层TLC NAND芯片已量产。虽然三星、SK海力士、美光等厂商也在致力于开发176层3D NAND闪存芯片,但是他们目前最先进的量产产品还是128层。
作为一家成立仅数年的国产NAND Flash闪存芯片厂商,长江存储在国外巨头已领跑数十年的存储技术领域,能够在如此短的时间内追赶上来,并且取得技术上的领先,实属不易。
编辑:芯智讯-浪客剑 资料来源:Tech Insights
中信证券:全球半导体供应链大变革,推荐半导体设备、零部件国产化机会
当前正处于全球半导体供应链的大变革阶段,一方面在各国加大政策补贴背景下,产能扩张持续加码,扩产潮下设备企业受益显著;另一方面在施加外部限制背景下,供应链安全得到重点关注,本土设备材料零部件供应商更多承接本土需求,获得持续份额提升。我们认为,中国大陆拥有全球最广泛的电子制造、终端品牌和市场需求优势,下游需求带动上游供应链转移是顺应历史潮流的趋势,一方面国内在成熟制程领域仍与海外厂商具有充分合作基础,强调商业共赢,另一方面从供应链安全考量有望加速国产设备、零部件的研发、验证,建议关注国产化趋势下设备、零部件的发展机遇。
▍美国参众两院已通过芯片法案,推动芯片制造回流美国。
美国提出5年内为半导体行业提供527亿美元补贴的“芯片与科学法案” (CHIPS and Science Act of 2022),2022年7月19日、7月28日,美国参议院、众议院分别以64票赞成对33票反对、243票赞成对187票反对,通过了该“芯片与科学法案”,该法案在总统拜登签署后即可生效。法案目的是强化美国本土的晶圆厂建设,减少对亚洲制造商的依赖。扶持对象以全球龙头芯片制造企业为主,如英特尔、三星、台积电和格芯等,通过补贴以及四年25%的投资税收抵免等措施鼓励其在美国建设先进芯片制造工厂。法案同时规定受到芯片法案资助的公司十年内禁止在中国大陆、伊朗、朝鲜和俄罗斯建设或扩建先进晶圆厂。
▍除美国外,全球多个经济体此前陆续推出本土芯片扶持计划,包括欧盟、日本、韩国、印度等,芯片制造本土化趋势明显,促进设备采购。
欧盟委员会于2022年2月8日推出《欧洲芯片法案》(European Chips Act),拟动员超过430亿欧元(约480亿美元)的公共和私人投资强化欧洲的芯片研究、制造,目标是到2030年将欧盟的芯片产能全球占比从目前的10%提高到20%。日本于2022年1月初亦通过一项芯片补贴法案,总计6000亿日元(约52亿美元)的预算将用于支持芯片制造商,其中向台积电提供4000亿日元(约34.7亿美元)的补贴。2021年5月,韩国发布“K半导体战略”,宣布未来十年将携手三星电子、SK海力士等153家韩国企业,投资510万亿韩元(约4510亿美元),目标是将韩国建设成全球最大的半导体生产基地,引领全球的半导体供应链。2021年12月,印度政府亦批准一项约100亿美元的激励计划,旨在吸引全球芯片及显示器制造商进入印度。
▍在各地区补贴政策支持下,半导体制造企业积极扩大产能。
根据研究机构SEMI的预估,2020年到2021年,全球共有34个新晶圆厂投入使用,从2022年到2024年,全球计划有58个新晶圆厂投入使用,这将使得全球芯片产能提高约40%。其中,台积电2022年将建设两座海外工厂,分别为美国亚利桑那州Fab21以及日本熊本工厂,目前均已经开始建设;英特尔宣布在美国俄亥俄州投资200亿美元建造至少两座晶圆厂,计划2025年投产,此外还将在德国马格德堡市投资190亿美元建造至少两家晶圆厂;三星宣布将耗资170亿美元在美国德克萨斯州建立一座芯片生产基地,最快在2024年投产。中国大陆企业亦加速扩产,2020年6月,总投资240亿美元的长江存储项目二期开工;2021年9月,中芯国际宣布投资88.7亿美元在上海市建设新的半导体工厂中芯东方;2021年6月,长鑫存储项目二期开工,项目的三期总投资超过2200亿元(约325亿美元)。
▍全球扩产带动半导体设备交期延长,半导体设备厂商在手订单饱满。
TrendForce调研数据显示,全球半导体设备交期再度延长至18~30个月不等,因此全球制造厂商的成熟及先进制程布局均受到影响,整体扩产计划递延约2~9个月不等。设备中DUV光刻机缺货情况最为严重,其次为CVD/PVD沉积及蚀刻设备等。在全球设备需求暴增的背景下,相较于海外设备,国产设备交期相对较好,在配套服务、响应速度方面具有优势,供应链安全方面具有保障,均实现了营收快速增长。
▍外部限制加码,我们推测美国或采取“小院高墙”式精准封锁,可能限制用于14纳米及以下工艺以及128层以上NAND Flash存储芯片的美国半导体设备销往中国大陆,设备供应安全得到重点关注。
近期美国在半导体领域陆续施加对华限制:
1)据彭博社报道,7月27日,泛林半导体(LAM Research)CEO在财报会中表示已收到美国商务部通知,将限制14纳米及以下先进制程设备销往中国大陆;
2)据路透社8月1日报道,美国正在考虑限制向中国大陆出口用于128层以上NAND Flash存储芯片的美国半导体制造设备;
3)据外媒Protocol 8月2日报道,美国拟限制对华出口用于GAA技术(用于3nm及以下芯片)的芯片设计EDA软件。此外,美国2022年3月拉拢日本、韩国、中国台湾提议筹组“Chip 4联盟” ,并计划8月下旬启动工作层面会议,一方面稳固芯片供应,另一方面以期牵制中国大陆。目前韩国在存储行业、日本在设备与材料行业、中国台湾在晶圆代工制造行业均占据领先地位,美国意在联合以上地区搭建对华的半导体供应链壁垒。
▍下游需求庞大,供应链安全考量催化国产设备、零部件的研发、验证,相关国产厂商有望崛起。
中国大陆拥有的全球最广泛的电子制造、终端品牌和市场需求基础,相应带动国产芯片采用和本土芯片制造规模成长。近年来中国大陆本土产能快速增长拉动庞大的设备需求,根据SEMI数据,中国半导体设备市场规模从2017年的82.3亿美元提升至2021年的296.2亿美元,四年CAGR为37.7%,对应全球市场占比也从14.5%迅速提升至28.9%,成为半导体设备的最大市场。
我们认为国内28纳米及以上成熟制程扩产或暂不受影响,否则将冲击全球芯片供应链、加剧缺芯并打击美国本土设备供应商。中国大陆目前是美国半导体设备企业销售的第一大地区,中国大陆与美国设备企业在成熟制程领域仍具有充分合作的基础。国内目前扩产中28纳米及以上仍占主流,我们认为成熟制程部分受到完全封锁的可能性较小,扩产或不受影响。同时在扩产过程中,为保障供应链安全,有望积极引入设备国产化。
我们测算了国内主要晶圆厂的设备招标采购数据,设备整体的国产化率已经从2018年的10.34%上涨到2022年上半年的24.38%,其中化学机械抛光、清洗、氧化扩散/热处理、测试、刻蚀、薄膜沉积设备在2018年国产率分别为11.1%/27.1%/14.6%/1.3%/14.3%/7.0%,到2022年上半年,国产率分别提升到 50.0%/ 48.0%/ 35.3%/ 33.3%/ 31.8%/ 23.8%,四年时间国产化率实现高速增长。预计随着国产设备厂商的工艺技术持续升级,产能及产品种类不断扩大,叠加国产替代需求持续激增,国产设备渗透率有望在未来实现进一步攀升。
▍风险因素:
国际局势恶化,行业需求下行,供应链本土化低于预期。
▍投资建议:
晶圆厂扩产新建持续,国内资本开支有望进一步攀升,同时设备材料零部件国产化是不得已而为之的艰苦道路,在外部限制加码背景下有望加速推进,建议关注设备零部件板块机会。1)当前重点推荐设备平台型龙头企业;2)重点关注细分设备领域龙头;3)建议关注布局前道湿法/量测检测领域、估值尚低的设备企业;4)关注后道测试、封装领域的企业;5)关注零部件领域的企业;6)晶圆制造回流本土成为当下全球供应链变革趋势,国内拥有全球最大的下游需求基础,国内晶圆厂有望持续承接本土需求。
本文源自金融界
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